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作
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態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的？
來源:
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作者:雋思環境半導體設備部
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發布時間: 2023-11-09
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HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來增黏的作用。
HMDS中文名六甲基二硅氮烷，是一種有機物，在水中的溶解性很低，但它可與多種有機溶劑混溶，比如醇、醚和多數非極性溶劑。溶劑清洗：可以使用有機溶劑溶劑（如異丙醇）來清洗晶圓，以去除多余的HMDS。
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱也稱為HMDS預處理系統，HMDS蒸鍍機等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合，使這樣的襯底表面具有疏水性。
HMDS烘箱性能
溫度范圍：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便
HMDS工藝：蒸汽氣相涂布
安全檢測：超溫保護，HMDS泄漏檢測提示
儲液瓶：HMDS儲液瓶
真空泵：無油渦旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
