就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
做到極致認真
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產 品 中 心
products
BCB真空無氧爐 高溫固化管式爐應用
應用于LCP纖維/膠熱處理、精密電子元件烘烤、晶圓退火、PI、BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.
BCB真空無氧爐 高溫固化管式爐技術性能
1、設備名稱: 智能BCB真空無氧爐
2、設備型號: JS-GYZF800-AI
3、設備主要技術參數
3.1 設備尺寸mm: 恒溫區Φ185*400mm(可擴展)
3.2 材質 :內箱采用耐高溫石英管，外箱采用優質冷軋板噴塑
3.3 溫度范圍: 100-800℃(可擴展)
3.4 溫度均勻度: ≤±3℃, K分度絲.增加管內三點測溫熱偶， 用于石英管內監控。
3.5 溫度波動度: ≤±1℃
3.6 電源: AC 380V±10%/50HZ，27.0KW
3.7 升溫速度: 1-15℃/min(可擴展)
3.8降溫速率: 1-5℃/min(可擴展)
3.9氧含量: 氧含量≤10ppm,配有氧分析儀，工藝全程檢測
3.10 真空度: 極限真空≤10Pa，采用進口（品牌：安捷倫）無油渦旋真空泵
3.11 降溫方式: 風冷+水冷
3.12 氣體控制 :氮氣流量計+減壓閥閥，實現最小氮氣消耗量
3.13 密封件: 采用耐高溫無塵密封圈，具有水冷保護系統
3.14 數據輸出: 氧含量監測,溫度記錄、歷史曲線查看(可擴展)
3.15 操作方式 :人機界面+PLC，多段程序運行
3.16 密封性能: 漏氣率≤1X10-7Pa ·m3／s
3.17 安全保護:安全的接地保護，超溫保護，漏電保護，超溫報警、斷偶報警、真空故障報警、真空室壓力異常報警等
